簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "化學工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="高深寬比"


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    厚膜光阻黏結劑製備與顯影特性之研究
    • /105/ 碩士
    • 研究生: 周芸巧 指導教授: 曾堯宣
    • 厚膜光阻 (Thick-film photoresist)可用於製作高深寬比的結構,普遍廣泛應用於LIGA微機械加工技術,製作MEMS微電機系統元件或微結構等。負型厚膜光阻可應用於積體電路後段IC封…
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    • 全文公開日期 2022/07/21 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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